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和其光電受邀參加2023碳化硅關鍵裝備、工藝及其他新型半導體論壇

欄目:展會信息 發布時間:2023-05-05

5月5日和其光電參加2023碳化硅關鍵裝備、工藝及其他新型半導體論壇。期間一家做碳化硅長晶爐的企業負責人感嘆:“這次他參加展會最大的收獲是找到了和其光電,在高精度紅外測溫產品供應上,國外企業目前不僅交期保證不了,而且精度滿足不了他們的溫場分布測試要求。”

參會的大部分企業都是和其光電的用戶,因為在碳化硅長晶爐、外延爐、高溫離子注入機、高溫激活爐、高溫氧化爐、高溫退火爐、立式LPCVD、臥式LPCVD、多腔PVD、刻蝕機等,凡是高溫的地方,都需要高精度紅外測溫。

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