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TC Wafer

TC Wafer

TC Wafer是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之間的溫度傳感器,可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整片晶圓溫度分布;同時(shí)也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化,例如:升溫,降溫過程及延遲周期等。

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