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紅外光學(xué)溫度計

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紅外光學(xué)溫度計

紅外光學(xué)溫度計是一種測量光并通過校準(zhǔn)以指示溫度的設(shè)備。紅外光學(xué)溫度計檢測來自熱物體的輻射通量,并利用普朗克黑體輻射方程算法來計算物體的表面溫度。所用的算法是基于普朗克黑體輻射方程。
紅外光學(xué)溫度計通過測量物體輻射的紅外能量來計算物體的表面溫度。半導(dǎo)體行業(yè)的紅外溫度計主要應(yīng)用于晶體生長階段,分為Si探測器、銦鎵砷探測器以及熱電堆探測器三種。從測溫原理上分為比色和單色,從光通形式分為透鏡型及光導(dǎo)型。
和其光電HQ-RTS系列紅外溫度計可應(yīng)用于MOCVD、氧化擴(kuò)散爐、PVD、CVD、ALD等半導(dǎo)體設(shè)備,具有高精準(zhǔn)度、高重復(fù)性、高可靠性、可定制、技術(shù)支持快速響應(yīng)等諸多優(yōu)勢。

1、全部件國產(chǎn)化,無供應(yīng)鏈卡脖子風(fēng)險。

2、技術(shù)指標(biāo)可溝通定制,側(cè)重點(diǎn)關(guān)注區(qū)域:

A.光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)實(shí)際視場條件設(shè)計,同等條件下能量利用率更高,信噪比更高,精度更高;

B.電路指標(biāo)根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注溫度區(qū)段定制化設(shè)計,將對應(yīng)區(qū)段信號特殊處理,局部區(qū)域噪音更低、倍率更高,獲得更高信號穩(wěn)定性、精度、分辨率;

C.機(jī)械變焦范圍根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)計,滿足設(shè)計指標(biāo)的前提下機(jī)身瘦身,更小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)更多功能;

D.瞄準(zhǔn)方式如目視光路、激光瞄準(zhǔn)、ccd圖像監(jiān)視等可根據(jù)需求定制;

E.通信方式支持EtherCat EtherNet等工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)接口。

3、技術(shù)支持、溝通響應(yīng)速度高。

4、安裝、使用操作等可提供專業(yè)技術(shù)人員現(xiàn)場操作、培訓(xùn)。


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